所謂精密和超精密磨料加工就是利用細粒度的磨粒和微粉對黑色金屬、硬脆材料等進行加工，以得到高加工精度和低表面粗糙度。精密和超精密磨料加工可分為固結磨料和游離磨料兩大類。固結磨料加工是將磨料或微粉與黏結劑粘合在一起，形成一定的形狀并具有一定強度，再采用燒結、粘接、涂覆等方法形成砂輪、砂條、磨石、砂帶等磨具；游離磨料加工中磨料或微粉不是固結在一起，而是呈游離狀態。

1、固結磨具精密磨削機理

精密磨削是指加工精度為1～0.1μm、表面粗糙度Ra值達到0.2～0.01μm的磨削方法。表面粗糙度Ra值達到0.01μm以下，表面光澤如鏡的磨削方法，稱為鏡面磨削。

（1）微刃的微切削作用 在精密磨削中，通過較小的修整導程和修整深度來精細地修整砂輪，使磨粒具有較好的微刃性。這種砂輪磨削時，同時參加切削的刃口增多，深度減小，由于微刃的微切削作用形成了表面粗糙度值較小的表面。

（2）微刃的等高切削作用 微刃是由砂輪的精細修整形成的，分布在砂輪表層的同一深度上的微刃數量多、等高性好（即細而多的切削刃具有平坦的表面），使得加工表面的殘留高度極小，因而形成了小的表面粗糙度值。

（3）微刃的滑擠、摩擦、拋光作用 砂輪修整后出現的微刃切削開始比較銳利，切削作用強，隨著磨削時間的增加，微刃逐漸鈍化，同時等高性得到改善。這時切削作用減弱，滑擦、擠壓、拋光作用增強。磨削區的高溫使金屬軟化，鈍化微刃的滑擦和擠壓將工件表面凸峰碾平，降低了表面粗糙度值。

2．游離磨料加工技術

將游離狀態下的細磨料或磨料微粉放在工件和工具之間進行研磨和拋光稱為精密和超精密游離磨料加工。游離磨料加工技術是不切除或切除極薄的材料層，用以降低工件表面粗糙度值或強化加工表面的加工方法，多用于最終工序加工。近年來出現了許多新的游離磨料加工方法，如磁力研磨、彈性發射加工、磁流體拋光、磨料流加工、化學機械拋光等。